熱式氣體質量流量控制器的主要作用是測量和控制氣體質量流量。它利用熱擴散原理，通過測量兩個標準RTD之間的溫度差來計算氣體流量。熱式氣體質量流量控制器與其他類型的流量控制器在原理、應用、優缺點等方面存在一些差異。
1.熱式氣體質量流量控制器：
熱式流量計基于熱擴散原理，使用兩只標準級的RTD，一只用于發熱，另一只用于測量流體溫度。當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，通過微電子控制技術轉換為測量流量信號的線性輸出。這種流量計的優點是可自動化集成度高、產品精度好、穩定性和重復性優于其他類型的流量控制器。實際使用中發現，當輸入的氣體不同時，控制顯示的數值與實際不符，原因在于氣體轉換系數（CF）的不同。
2.電磁流量計：
根據法拉第電磁感應定律進行流量測量。其優點是壓損極小，可測流量范圍大，精確度較高。但它不能測量氣體、蒸汽以及純凈水的流量。
3.渦街流量計：
根據卡門渦街原理研究生產，用于測量氣體、蒸汽或液體的體積流量和質量流量。其特點是壓力損失小，量程范圍大，精度高，不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。
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