半導體設備電子氣體質量流量計及流量控制器

背景簡述：

-- 半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊

材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。

一、ACU20FD-LH 半導體設備電子氣體質量流量計及流量控制器 產品概述：

1、精度更高，響應更快，帶網口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

6、數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選；

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金 / 環保

食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統

三、ACU20FD-LH 半導體設備電子氣體質量流量計及流量控制器 產品參數：

量程范圍：2SCCM～300SLM

準 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復精度：±0.2%F.S

響應時間：流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s

數 字  量：RS232/485，MODBUS協議 （Profibus、Devicenet等協議可選）

模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數：±0.025%F.S/℃

底座材質：不銹鋼

封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM，金屬密封等

接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、VCR等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。