高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計

簡要描述：高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計：
-- ACU20FC采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。
-- 當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。
-- 與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，ACU20FC沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。

產品型號：ACU20FC-LH
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-07-08
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氣體質量流量計/控制器

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詳細介紹

一、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計 產品概述：

1、準確度±0.5%F.S，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定。

2、無需預熱，測量時無響應滯后。

3、采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，同時顯示和輸出瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。

4、當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。

二、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質量流量控制器及流量計 產品參數：

（如所需參數性能與下述不符，請溝通定制）

技術指標		高精度質量流量控制器	高精度質量流量計
	滿量程量程范圍	2SCCM～6000SLM
	測控范圍	控制器閥控范圍50:1	流量計量程比100:1
	準確度	±0.5%F.S
	線性	±0.5%F.S
	重復精度	±0.2%F.S
	穩定性	<±0.1%FS
	響應時間	<0.2s	<0.1s
	溫度系數	±0.025%F.S/℃
	工作溫度	10～50℃
	預熱時間	30S可用，5Min達到優良狀態
	工作壓力	工作壓差：0.1~0.5Mpa	工作壓降<0.01Mpa
	最大耐壓	3MPa/10MPa
	漏率	1×10-9SCCSHe
機械部件	底座材質	不銹鋼
	接頭	φ6，φ8，φ10，1/2"...快插、卡套、法蘭安裝等
	密封材質	氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，乙丙橡膠等
	外殼防護等級	IP40
	安裝位置	水平安裝、垂直（下進上出）
電氣性能	單色LED顯示屏	同時顯示流量、設定
	電氣連接	DB15孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
	顯示狀態	帶液晶顯示、不帶液晶顯示
	數字量	RS232/485，MODBUS等協議
	模擬量	0～5V、4-20mA、1-5V
	供電	±15VDC，24VDC

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