負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC

簡要描述：負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC：
◆精度更高，響應更快，帶網口；
◆管狀分流，不易堵塞；
◆適用于各種低壓和高壓管道，以及抽真空的環境；
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高；
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；
◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選；

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-08-08
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氣體質量流量計/控制器

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詳細介紹

一、負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC 產品概述：

1、精度更高，響應更快，帶網口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道以及抽真空的環境；

4、預熱時間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

6、數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選；

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統

三、負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC 產品參數：

滿量程范圍：2SCCM～300SLM

準確度：±0.5%F.S

線性：±0.5%F.S

重復精度：±0.2%F.S

響應時間：流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s

數字量：RS232/485，MODBUS協議

模擬量：0～5V、4-20mA、1～5V

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～50℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐壓：3MPa/10MPa

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度系數：±0.025%F.S/℃

底座材質：不銹鋼

密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，全氟醚FFKM/FFPM等

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。

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